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BS EN 62047-17:2015 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films, 2015
- 30321937-VOR.pdf [Go to Page]
- English [Go to Page]
- CONTENTS
- FOREWORD
- 1 Scope
- 2 Normative references
- 3 Terms, definitions and symbols [Go to Page]
- 3.1 Terms and definitions
- 3.2 Symbols
- 4 Principle of bulge test
- 5 Test apparatus and environment [Go to Page]
- 5.1 General
- 5.2 Apparatus [Go to Page]
- 5.2.1 Pressuring device
- 5.2.2 Bulge (pressure) chamber
- 5.2.3 Height measurement units
- 5.3 Test environment
- 6 Specimen [Go to Page]
- 6.1 General
- 6.2 Shape and dimension of specimen
- 6.3 Measurement of test piece dimension
- 7 Test procedure and analysis [Go to Page]
- 7.1 Test procedure
- 7.2 Data analysis
- 8 Test report
- Annex A (informative) Determination of mechanical properties [Go to Page]
- A.1 General
- A.2 Determination of mechanical properties using stress-strain curve
- A.3 Determination of mechanical properties using analysis of load-deflection
- Annex B (informative) Deformation measurement techniques [Go to Page]
- B.1 General
- B.2 Laser interferometry technique
- B.3 Capacitance type measurement
- Annex C (informative) Example of test piece fabrication: MEMS process [Go to Page]
- C.1 Test piece fabrication
- C.2 Measurement of shape of specimen
- Bibliography
- Figures [Go to Page]
- Figure 1 – Typical example of bulge specimen
- Figure 2 – Membrane window bulged by pressure
- Figure 3 – Typical example of bulge test apparatus
- Figure 4 – Bulge membrane window shapes
- Figure 5 – Example of typical pressure-height curve obtained from bulge test
- Figure A.1 – Determination of biaxial modulus in the stress-strain curve obtained from bulge test
- Figure B.1 – Typical example of laser interferometer configuration
- Figure B.2 – Typical fringe patterns obtained from laser Michelson interferometry and ESPI system
- Figure B.3 – Typical example of the measurement system using a photo detector
- Figure B.4 – Schematic of capacitance bulge tester
- Figure B.5 – Typical example of relationshipbetween bulge height and capacitance change
- Figure C.1 – Example of fabrication procedure for bulge test piece
- Tables [Go to Page]
- Table 1 – Symbols and designations of a specimen
- Table A.1 – Examples of various expressions of parameters, C1 and C2(ν), for thin square films
- Table A.2 – Examples of various expressions of parameters, C1 and C2(ν), for thin spherical films
- Français [Go to Page]
- SOMMAIRE
- AVANT-PROPOS
- 1 Domaine d'application
- 2 Références normatives
- 3 Termes, définitions et symboles [Go to Page]
- 3.1 Termes et définitions
- 3.2 Symboles
- 4 Principe de l'essai de renflement
- 5 Appareillage d'essai et environnement [Go to Page]
- 5.1 Généralités
- 5.2 Appareillage [Go to Page]
- 5.2.1 Dispositif de pressurisation
- 5.2.2 Chambre de renflement (pression)
- 5.2.3 Dispositif de mesure de la hauteur
- 5.3 Environnement d’essai
- 6 Spécimen [Go to Page]
- 6.1 Généralités
- 6.2 Forme et dimension du spécimen
- 6.3 Mesure de la dimension du spécimen d'essai
- 7 Procédure d’essai et analyse [Go to Page]
- 7.1 Procédure d’essai
- 7.2 Analyse de données
- 8 Rapport d’essai
- Annexe A (informative) Détermination des propriétés mécaniques [Go to Page]
- A.1 Généralités
- A.2 Détermination des propriétés mécaniques en utilisant le diagramme contrainte-déformation
- A.3 Détermination des propriétés mécaniques en utilisant l'analyse de la relation charge-flexion
- Annexe B (informative) Techniques de mesure de la déformation [Go to Page]
- B.1 Généralités
- B.2 Technique d'interférométrie laser
- B.3 Mesure du type capacitif
- Annexe C (informative) Exemple de fabrication du spécimen d'essai: Processus MEMS [Go to Page]
- C.1 Fabrication de spécimen d'essai
- C.2 Mesure de la forme du spécimen
- Bibliographie
- Figures [Go to Page]
- Figure 1 – Exemple typique de spécimen de renflement
- Figure 2 – Fenêtre à membrane bombée par la pression
- Figure 3 – Exemple typique de l'appareillage d'essai de renflement
- Figure 4 – Formes de la fenêtre de membrane de renflement
- Figure 5 – Exemple de diagramme de hauteur de pressiontypique obtenu de l'essai de renflement
- Figure B.1 – Exemple typique de configuration de l'interféromètre laser
- Figure B.2 – Diagrammes de franges typiques obtenus de l'interférométrie laser de Michelson et du système ESPI
- Figure B.3 – Exemple typique du système de mesure utilisant un photodétecteur
- Figure B.4 – Schéma de l'appareil d'essai de capacité de renflement
- Figure B.5 – Exemple typique de la relationentre la hauteur de renflement et la variation de capacité
- Figure C.1 – Exemple de procédure de fabrication de spécimen d’essai de renflement
- Figure A.1 – Détermination du module biaxial dans le diagramme contrainte-déformation obtenu de l'essai de renflement
- Tableaux [Go to Page]
- Tableau 1 – Symboles et désignations d'un spécimen
- Tableau A.1 – Exemples de différentes expressions des paramètres, C1 et C2(ν), pour les couches minces carrées
- Tableau A.2 – Exemples de différentes expressions des paramètres, C1 et C2(ν), pour les couches minces sphériques [Go to Page]
